KLA发布新的汽车产品组合 以提高芯片产量和可靠性

新的检测系统和创新的在线筛选解决方案帮助晶圆厂提高产品质量

加利福尼亚州米尔皮塔斯，2021年6月23日，——今天，KLA公司(纳斯达克代码：KLAC)宣布发布汽车芯片制造的四款新产品：8935高良品率图案化晶圆检测系统、C205宽带等离子图案化晶圆检测系统、Surfscan SPA2/A3未图案化晶圆检测系统和I-Pat在线缺陷组件平均测试筛选解决方案。汽车行业密切关注电气化、互联、高级驾驶员辅助和自动驾驶方面的创新。这意味着汽车需要更多的电子设备，这促进了对半导体芯片的需求。由于其在汽车驾驶和安全应用中的核心地位，其可靠性非常重要，因此汽车芯片必须符合严格的质量标准。

KLA新的Surfscan SPA2/A3、8935和C205检测系统和创新的I-Pat在线筛查解决方案提高了汽车芯片的产量和可靠性。

“今天的车辆包含数千个半导体芯片，用于感知周围环境、做出驾驶决策和实施控制。”KLA半导体过程控制业务部门总裁艾哈迈德汗说：“这些芯片不能通过——测试，这一事实促使芯片制造商在芯片被集成到汽车上之前寻求新的策略来发现和减少与可靠性相关的缺陷。我们的新产品是为生产汽车芯片的晶圆厂量身定制的，在芯片制造源头检测可能影响可靠性的缺陷，并为在线筛查提供创新解决方案。这些努力将有助于晶圆厂以高产率制造高质量、高可靠性的芯片，同时最大限度地提高产能。”

这三种新型检测设备构成了缺陷发现、监控和控制的互补解决方案，适用于汽车行业中设计节点较大的芯片制造。Surfscan SP A2/A3图案化晶圆检测器结合DUV光学系统和先进的算法，使系统的灵敏度和速度足以识别和消除可能对汽车芯片造成可靠性问题的工艺缺陷，确保工艺设备以最佳性能运行。对于R&D和大规模生产，C205图案化晶圆检测器采用宽带光谱和NanoPoint技术，使其对关键缺陷高度敏感，并有助于加快新工艺和器件的优化。对于批量制造，8935图形晶圆测试仪采用新的光学技术和DefectWise AI解决方案，能够以低噪声比捕捉各种关键缺陷，快速准确地识别可能影响芯片最终质量的工艺偏差。

I-PAT是一个创新的在线筛查解决方案，运行在KLA检测和数据分析系统中。I-PAT首先从高速8系列检测器(包括8935或Puma激光扫描检测器)在关键工艺步骤中收集的所有晶圆数据中提取缺陷特征。然后，I-PAT使用SPOT大规模生产平台上的定制机器学习算法和Klarity缺陷管理系统的统计分析功能来识别异常缺陷，从而从供应链中消除风险芯片。

除了开发为汽车芯片制造定制的新产品，KLA还继续与汽车行业密切合作。从KLA是汽车电子委员会(AEC)的成员，该委员会为汽车行业的电子元件制定认证标准，到该公司在密歇根州安阿伯的第二个总部，KLA致力于确保汽车行业符合严格的电子质量标准。

“我们今天发布的新产品扩展了我们测试、测量、数据分析和处理系统的全面组合，为汽车电子生态系统提供了多方面的支持。”KLA电子、包装和元件(EPC)业务执行副总裁俄瑞斯特东塞拉(Oreste Donzella)补充说：“这些产品在确保构成汽车电子产品的芯片、元件、印刷电路板和显示器具有出色的产量、可靠性和性能方面发挥着关键作用。”

有关8935、C205、Surfscan SP A2/A3和I-PAT的更多详细信息，包括除汽车以外的主要功能、应用和市场，请参考产品概况介绍。为了保持这些系统的高性能和高生产率，KLA全球综合服务网络为它们提供技术支持。